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洁净室净化等级说明

发布人:河南健之全    发布时间:2019-05-29

等级ISO空气洁净

大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)

洁净等级美国联邦209E

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISO Class1

10

2

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1000

237

102

35

8

1

ISO Class4

10000

2370

1020

352

83

10

ISO Class5

100000

23700

10200

3520

832

29

100

ISO Class6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

ISO Class7

352000

83200

2930

10000

ISO Class8

3520000

832000

29300

100000

ISO Class9

35200000

8320000

293000

300000

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